发明名称 Circuits intégrés et leurs procédés de fabrication
摘要
申请公布号 FR1532425(A) 申请公布日期 1968.07.12
申请号 FR19670107332 申请日期 1967.05.23
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人
分类号 C23C8/00;H01L21/00;H01L21/263;H01L21/8222 主分类号 C23C8/00
代理机构 代理人
主权项
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