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发明名称
Method for forming bottom electrode of capacitor
摘要
申请公布号
KR100935727(B1)
申请公布日期
2010.01.08
申请号
KR20070134676
申请日期
2007.12.20
申请人
发明人
分类号
H01L21/8242;H01L27/108
主分类号
H01L21/8242
代理机构
代理人
主权项
地址
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