用于可控分裂的设备和方法

摘要

本发明公开了一种用于可控分裂的设备和方法。本发明的实施例包括用于分裂衬底的设备，所述设备包括连接至铰链机构的底壳、连接至铰链机构的顶壳、连接至顶壳和底壳的多个O形环或吸盘，用于提供足以施加张力至衬底的顶部和底部的吸力、顺应性构件，用于密封衬底的槽边缘的部分并用于保持衬底的槽边缘和槽边缘之间形成的空间内的压力、气体端口，用于供应气体至所述空间、以及连接至顶壳和底壳的高度调节机构，用于分离底壳与顶壳。本发明的一个实施例消除了气体系统的使用，并且本发明的一个实施例用刀刃来代替以起始扩展，并且被施加吸盘的张力以在起始之前施加张力并在分裂中和之后控制分裂过程并保持层分离。

主权项

1.一种用于结合衬底的可控分裂的设备，包括：连接至铰链机构的底壳；连接至所述铰链机构的顶壳；连接至所述顶壳和所述底壳的多个O形环或吸盘，用于提供足以施加张力至所述结合衬底的顶部和底部的吸力；起始装置，用于沿所述结合衬底的边缘的一部分施加附加力并用于在所述结合衬底中起始分裂；和连接至所述顶壳和所述底壳的高度调节机构，用于通过使所述顶壳从所述底壳分离来扩展所述分裂。