发明名称 PLASMABRENNER MIT EINSTELLBARER KATHODE.
摘要
申请公布号 DE3774936(D1) 申请公布日期 1992.01.16
申请号 DE19873774936 申请日期 1987.06.12
申请人 THE PERKIN-ELMER CORP., NORWALK, CONN., US 发明人 BERNECKI, THOMAS F., ELMONT, NY 11003, US;VARLEY, KEVIN J., HICKSVILLE, NY 11801, US;RUSCH, WILLIAM P., LAKE RONKONKOMA, NY 11779, US;KLEIN, JOHN F., PORT WASHINGTON, NY 11050, US;BHANSALI, CHANDRA, COMMACK, NY 11725, US;WLODARCZYK, JANUSZ, JACKSON HEIGHTS, NY 11370, US
分类号 C23C4/12;H05H1/34;H05H1/36;H05H1/42;(IPC1-7):H05H1/34 主分类号 C23C4/12
代理机构 代理人
主权项
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