发明名称 Method for forming wafer patterns of semiconductor devices
摘要
申请公布号 KR100924337(B1) 申请公布日期 2009.11.02
申请号 KR20070062544 申请日期 2007.06.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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