力学量传感器及其制造方法

摘要

力学量传感器具备：第1结构体，具备具有开口的固定部、配置在该开口内且相对上述固定部位移的位移部、连接上述固定部与上述位移部的连接部；第2结构体，具有与上述位移部接合的重量部、包围上述重量部配置且与上述固定部接合的台座，且在上述第1结构体上层叠配置；第1基体，与上述固定部连接并在上述第1结构体上层叠配置；以及第2基体，与上述台座连接并在上述第2结构体上层叠配置，上述重量部在上述第1结构体作成后且在上述第2基体与上述第2结构体接合前进行厚度的调整。

主权项

1. 一种力学量传感器，具备：第1结构体，具备具有开口的固定部、配置在该开口内且相对上述固定部进行位移的位移部、以及连接上述固定部与上述位移部的连接部，且由平板状的第1半导体材料一体地构成；第2结构体，具有与上述位移部接合的重量部、包围上述重量部配置且与上述固定部接合的台座，由第2半导体材料构成，且在上述第1结构体上层叠配置；第1基体，与上述固定部连接并在上述第1结构体上层叠配置，由绝缘性材料构成；第2基体，与上述台座连接并在上述第2结构体上层叠配置，由绝缘性材料构成；振动施加部，对上述位移部施加层叠方向的振动；以及，位移检测部，检测上述位移部的位移，上述重量部在上述第1结构体作成后且在上述第2基体与上述第2结构体接合前进行厚度的调整。