| 发明名称 | 处理含全氟化合物及/或含氢氟烃废气的方法 | ||
| 摘要 | 本发明是关于一种处理含全氟化合物及/或含氢氟烃废气的方法，此方法是将含全氟化合物及/或含氢氟烃废气与铁氧化物触媒进行气固接触，并进行等离子氧化反应，之后再以触媒进行气固接触及氧化反应，以达到分解全氟化合物及/或含氢氟烃的目的。由于本发明可在较先前技术低许多的温度下操作，其能源消耗小且不具着火危险性，因此，非常适合用来去除半导体及光电制造工厂所产生的含全氟化合物的废气。 | ||
| 申请公布号 | CN100537001C | 申请公布日期 | 2009.09.09 |
| 申请号 | CN200410058485.6 | 申请日期 | 2004.08.19 |
| 申请人 | 慧群环境科技股份有限公司 | 发明人 | 林树荣 |
| 分类号 | B01D53/86(2006.01)I;B01D53/70(2006.01)I;B01J23/745(2006.01)I | 主分类号 | B01D53/86(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 寿 宁;张华辉 |
| 主权项 | 1、一种处理含全氟化合物及/或含氢氟烃废气的方法，其特征在于其包括以下步骤：以一等离子处理该含全氟化合物及/或含氢氟烃的废气；以及以一触媒处理该含全氟化合物及/或含氢氟烃的废气，所述的触媒是选自铁氧化物，其中所述等离子处理以及触媒处理是在摄氏300度以下进行。 | ||
| 地址 | 中国台湾 | ||