发明名称 | 在基材上施加材料的方法 | ||
摘要 | 本发明涉及在基材上施加材料,优选地材料的图案,的方法。 | ||
申请公布号 | CN101501569A | 申请公布日期 | 2009.08.05 |
申请号 | CN200780029135.9 | 申请日期 | 2007.06.15 |
申请人 | 索尼德国有限责任公司;于利奇研究中心有限公司 | 发明人 | J·韦塞尔斯;安田章夫;D·施瓦布;D·迈耶;A·奥芬霍瑟 |
分类号 | G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/00(2006.01)I |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 段晓玲;林 森 |
主权项 | 1. 在基材上施加材料优选材料图案的方法,包括如下步骤:a)提供具有第一表面的第一基材,b)提供具有第二表面优选图案化表面的第二基材,所述第二基材的杨氏模量≥100MPa,c)提供待施加在,优选地图案化在,所述第一表面上的材料,和将所述材料施加在所述第二表面上,d)通过使所述第一表面与所述第二表面产生接触,制造所述第一基材与所述第二基材的组件,其中所述材料被夹在所述表面之间,所述组件包括设置在所述第一和所述第二基材之间的容积,e)在所述组件上施加第一压力条件,从而在所述容积内建立第一压力条件,和f)密封所述容积,g)在所述组件上施加第二压力条件,其中所述第二压力条件涉及比所述第一压力条件更高的压力,由此使所述第一表面与所述第二表面共形接触,从而将所述材料、优选地所述材料的图案,施加在所述第一表面上。 | ||
地址 | 德国柏林 |