| 发明名称 | 真空处理室的盖体开闭机构以及盖体开闭方法 | ||
| 摘要 | 本发明一种真空处理室的盖体开闭机构，在具有基体部以及以可自由装卸的方式设置在该基体部上的盖体的真空处理室，开闭所述盖体，其特征在于，该盖体开闭机构包括：可移动的台车；和设置在所述台车上的支撑所述盖体的支撑部。由此，可节省装置整体的空间，可实现盖体开闭机构的共用造成的成本下降。 | ||
| 申请公布号 | CN100514550C | 申请公布日期 | 2009.07.15 |
| 申请号 | CN200610164572.9 | 申请日期 | 2004.05.27 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 中山秀树 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙 淳 |
| 主权项 | 1. 一种真空处理室的盖体开闭机构，在具有基体部以及以可自由装卸的方式设置在该基体部上的盖体的真空处理室，开闭所述盖体，其特征在于，该盖体开闭机构包括：可移动的台车；和设置在所述台车上、并与设置在所述盖体上的支撑轴嵌合的支撑所述盖体的支撑部。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||