| 摘要 |
本发明提供一种具有可确认保护被膜是否被覆于被加工物之加工面的功能的保护膜形成装置。该保护膜形成装置系对保持于保持工作台的被加工物供应液状树脂，将保护膜被覆于被加工物之加工面的保护膜被覆装置，且该保持工作台保持施行雷射加工的加工前之被加工物。该保护膜被覆装置包含有：保护膜检测机构，系检测保护膜是否被覆于被加工物之加工面者；控制机构，系根据来自保护膜检测机构的检测信号判定保护膜是否被覆于被加工物之加工面，当判定为未被覆保护膜时，输出警报信号者；及警报器，系根据来自控制机构的警报信号使之作动者。 |
