用于使电子元件制造工具流出物减弱之方法及设备

摘要

本发明系提供一种电子元件制造工具流出物减弱（abatement）系统，该系统包括：一热减弱反应器，系适于减弱一流出物流（effluent stream）；以及一喷射器（eductor），系适于接收来自该热减弱反应器之该流出物流。本发明亦提供数种其他的实施例。