晶体硅太阳电池PN结的制备方法

摘要

本发明公开一种晶体硅太阳电池PN结的制备方法，其制备过程为：取硅片置于石英舟内，且石英舟内每槽仅插入一片硅片，然后将石英舟置于扩散炉碳化硅悬臂桨上，进舟，进舟时采用分三段进舟的方式，当扩散炉的炉门完全封紧后，向扩散炉内通入其流量值为1～30ml/min的氮气，并维持温度为700℃～900℃；再分两步同时通入三氯氧磷杂质源气体和氧气，然后关闭三氯氧磷气体和氧气的阀门；通入流量值为1～30ml/min的氮气；然后出舟，出舟时设定步进电机的转速在250～999mm/min。采用本发明双面扩散制备的PN结的晶体硅太阳电池在开路电压Voc、短路电流Isc、电池的短波响应等产品质量方面得到明显提高。

主权项

1. 一种晶体硅太阳电池PN结的制备方法，其特征在于其制备过程为：(1)取硅片置于石英舟内，且石英舟内每槽仅插入一片硅片，然后将石英舟置于扩散炉碳化硅悬臂桨上，然后进舟，进舟时采用分段进舟的方式，第一段设定步进电机的转速为250～999mm/min，运行时间1～3min；第二段设定步进电机的转速为250～999mm/min，运行时间1～3min；第三段设定步进电机的转速在250～999mm/min，运行时间1～3min；(2)当扩散炉的炉门完全封紧后，向扩散炉内通入氮气，设定氮气流量值在1～30L/min，通入时间5～10min，炉内温度700℃～900℃；(3)然后分两步向扩散炉内同时通入三氯氧磷杂质源气体和氧气，源温为20℃，第一步同时通入1～10min三氯氧磷气体和氧气，设定三氯氧磷气体流量值在1～30L/min，设定氧气流量值在1～10L/min；第二步同时通入1～30min三氯氧磷气体和氧气，源温为20℃，设定三氯氧磷气体流量值在1～30L/min，设定氧气流量值在1～10L/min；(4)关闭三氯氧磷气体和氧气的阀门，然后通入氮气0～10min，设定氮气流量值为1～30L/min；(5)出舟，出舟时设定步进电机的转速在250～999mm/min；(6)扩散完毕，卸舟，取出硅片，即得双面扩散的硅片。