| 发明名称 | 一种负热膨胀材料ZrW<SUB>2</SUB>O<SUB>8</SUB>薄膜的制备方法 | ||
| 摘要 | 一种负热膨胀材料ZrW<SUB>2</SUB>O<SUB>8</SUB>薄膜的制备方法，属于无机功能薄膜材料制备技术领域，其特征在于：采用脉冲激光法制备负热膨胀ZrW<SUB>2</SUB>O<SUB>8</SUB>薄膜。本发明的优点在于利用脉冲激光沉积法制备ZrW<SUB>2</SUB>O<SUB>8</SUB>薄膜，可以使沉积薄膜和靶材的化学成分保持良好的一致性，能避免某种成分优先沉积的问题，同时逸出粒子具有较大的能量有利于薄膜生长，制备薄膜质量高，制备过程具有良好的可重复性，沉积速率高。 | ||
| 申请公布号 | CN101368259A | 申请公布日期 | 2009.02.18 |
| 申请号 | CN200810156934.9 | 申请日期 | 2008.09.12 |
| 申请人 | 江苏大学 | 发明人 | 刘红飞;程晓农;张志萍;杨娟 |
| 分类号 | C23C14/08(2006.01);C23C14/28(2006.01);C23C14/58(2006.01);C23C14/54(2006.01) | 主分类号 | C23C14/08(2006.01) |
| 代理机构 | 南京知识律师事务所 | 代理人 | 汪旭东 |
| 主权项 | 1.一种负热膨胀材料ZrW2O8薄膜的制备方法，其特征在于：采用脉冲激光法制备负热膨胀ZrW2O8薄膜。 | ||
| 地址 | 212013江苏省镇江市学府路301号 | ||