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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH053200(A) 申请公布日期 1993.01.08
申请号 JP19910151736 申请日期 1991.06.24
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HIDAKA OSAMU
分类号 H01L29/73;H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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