光学式距离位置感测装置

摘要

本发明涉及一种光学式距离位置感测装置，用以感测一待测位置对象与该感测装置间的一绝对距离位置。该感测装置是将一多频混合的入射光束利用一分光组件予以分光成一量测光束与一参考光束，其中，量测光束与参考光束分别射向待测位置对象与一具备复数个反射表面的参考反射组件后，再分别反射回分光组件而分别行进一量测光程与复数个参考光程，并依据量测光程与复数个参考光程所分别相差的复数个光程差而射出至少一干涉光束。最后，利用一光学感应模块感应干涉光束的干涉波包位置，并依据干涉波包位置而计算出上述的绝对距离位置。

主权项

1.一种光学式距离位置感测装置，用以感测一待测位置对象与该感测装置间的一绝对距离位置，其特征在于，该感测装置包括：一多频混合光源，提供一由多个频段光波所混合组成的入射光束；一分光组件，用以将该入射光束分光为一量测光束与一沿一参考方向行进的参考光束，且该量测光束沿一量测方向射向该待测位置对象，再由该待测位置对象反射回该分光组件而行进一量测光程；一参考反射组件，位于该参考方向上，并且包含M个反射表面，以使该参考光束分别自M个反射表面的不同位置反射回该分光组件而行进复数个不同的参考光程，自该待测位置对象所反射的该量测光束与自该参考反射组件所反射的该参考光束是在该分光组件处开始产生干涉，并依据该量测光程与上述复数个参考光程间的差距所分别形成的复数个不同的光程差而射出至少一干涉光束；以及一光学感应模块，用以感应该干涉光束，并依据该光程差而计算出该绝对距离位置。