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Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum rastersondenmikroskopischen Untersuchen einer Messprobe. Bei dem Verfahren werden eine erste und eine zweite rastersondenmikroskopische Messung an der Messprobe mit einem Messsondensystem, bei dem eine Messsonde und eine andere Messsonde an einer gemeinsamen Messsondenaufnahme gebildet sind, ausgeführt, wobei während der ersten Messung relativ zu der Messprobe die Messsonde in einer ersten Messstellung und die andere Messsonde in einer anderen Nicht-Messstellung gehalten werden und die Messprobe mit der Messsonde rastersondenmikroskopisch untersucht wird, nach der ersten Messung mittels Verlagern relativ zur Messprobe die Messsonde aus der Messstellung in eine Nicht-Messstellung und die andere Messsonde aus der anderen Nicht-Messstellung in eine andere Messstellung gebracht werden und während der zweiten Messung relativ zu der Messprobe die Messsonde in der Nicht-Messstellung und die andere Messsonde in der anderen Messstellung gehalten werden und die Messprobe mit der anderen Messsonde rastersondenmikroskopisch untersucht wird. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Messsondensystem für ein Rastersondenmikroskop.
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