具分离电极之静电卡盘

摘要

一种静电夹持装置及一种减少对耦接至静电夹持装置的工件造成污染的方法。根据一实施例，耦接工件的静电夹持装置包括位于本体的表面上的用以接触工件的浮雕部，以及位于所述本体内的至少二电极。至少二电极被所述浮雕部下方的分离部分开。