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发明名称
用于回收在处理环境中之处理流体的系统和方法
摘要
一种用于化学药品管理的方法与系统。在一具体实施例中,掺合器系与处理系统连结并进行构形成将适当的单一溶液或复数个溶液供应至系统。由掺合器所提供的溶液接着从系统回收且随后再行导入以重复使用。于溶液再行导入系统用于重复使用前,可操作掺合器以控制溶液内的各个成份的浓度。可对某些导入系统的化学药品加以温度控制。后端真空泵浦次系统可从液体中分离气体以作为废弃物管理系统的一部份。
申请公布号
TW200818303
申请公布日期
2008.04.16
申请号
TW096117195
申请日期
2007.05.15
申请人
液态空气乔治斯克劳帝方法研究开发股份有限公司
发明人
卡尔J 尤魁哈特;乔治 古亚内利;尚 路易斯 马克;诺伯特 法加特;劳伦特 兰杰利尔;克里斯多 寇林
分类号
H01L21/306(2006.01);B01F3/08(2006.01);G01N9/36(2006.01)
主分类号
H01L21/306(2006.01)
代理机构
代理人
桂齐恒;阎启泰
主权项
地址
法国
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