发明名称 相变内存装置及其制造方法
摘要 本发明提供一种相变内存装置,包括:基板;金属栓塞和相变材料层,依序形成于上述基板上,其中上述金属栓塞电性连接于上述相变材料层;加热电极,形成于上述相变材料层上,其中上述加热电极电性连接于上述相变材料层;导电层,形成于上述加热电极上。
申请公布号 CN101241925A 申请公布日期 2008.08.13
申请号 CN200710008050.4 申请日期 2007.02.09
申请人 财团法人工业技术研究院;力晶半导体股份有限公司;南亚科技股份有限公司;茂德科技股份有限公司;华邦电子股份有限公司 发明人 许宏辉
分类号 H01L27/24(2006.01);H01L45/00(2006.01);G11C11/56(2006.01) 主分类号 H01L27/24(2006.01)
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波
主权项 1. 一种相变内存装置,包括:基板;金属栓塞和相变材料层,依序形成于该基板上,其中该金属栓塞电性连接于该相变材料层;加热电极,形成于该相变材料层上,其中该加热电极电性连接于该相变材料层;导电层,形成于该加热电极上。
地址 中国台湾新竹县
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