发明名称 |
相变内存装置及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种相变内存装置,包括:基板;金属栓塞和相变材料层,依序形成于上述基板上,其中上述金属栓塞电性连接于上述相变材料层;加热电极,形成于上述相变材料层上,其中上述加热电极电性连接于上述相变材料层;导电层,形成于上述加热电极上。 |
申请公布号 |
CN101241925A |
申请公布日期 |
2008.08.13 |
申请号 |
CN200710008050.4 |
申请日期 |
2007.02.09 |
申请人 |
财团法人工业技术研究院;力晶半导体股份有限公司;南亚科技股份有限公司;茂德科技股份有限公司;华邦电子股份有限公司 |
发明人 |
许宏辉 |
分类号 |
H01L27/24(2006.01);H01L45/00(2006.01);G11C11/56(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/24(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
陶凤波 |
主权项 |
1. 一种相变内存装置,包括:基板;金属栓塞和相变材料层,依序形成于该基板上,其中该金属栓塞电性连接于该相变材料层;加热电极,形成于该相变材料层上,其中该加热电极电性连接于该相变材料层;导电层,形成于该加热电极上。 |
地址 |
中国台湾新竹县 |