发明名称 POLISHING PAD COMPRISING MAGNETICALLY SENSITIVE PARTICLES AND METHOD FOR THE USE THEREOF
摘要
申请公布号 IL187704(D0) 申请公布日期 2008.08.07
申请号 IL20070187704 申请日期 2007.11.27
申请人 CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION 发明人
分类号 B24B 主分类号 B24B
代理机构 代理人
主权项
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