精密微细空间的形成方法、具有精密细空间之构件的制造方法及感光性积层膜

摘要

提供一种具有一定形状及体积之精密微细空间的形成方法、及具有精密微细空间(具有一定形状及体积)之构件的制造方法。一种精密微细空间的形成方法，系具有在基材(具有精密微细凹部)上舖设薄膜的步骤之精密微细空间的形成方法，系藉由以下步骤来形成具有一定形状及体积之精密微细空间，包含：在第一载物台上载置基材，并设定成使得用以围住第一载物台的外周之第二载物台的最上面，比第一载物台的最上面更高之步骤；以及在基材上舖设薄膜之步骤。