发明名称 Kontaktsonde und deren Herstellungsverfahren
摘要
申请公布号 DE60133791(D1) 申请公布日期 2008.06.12
申请号 DE2001633791 申请日期 2001.05.31
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES LTD. 发明人 HAGA, TSUYOSHI;OKUMURA, KATSUYA;HAYASAKA, NOBUO;SHIBATA, HIDEKI;MATSUNAGA, NORIAKI
分类号 G01R1/067;G01R31/26;G01R3/00;H01L21/66 主分类号 G01R1/067
代理机构 代理人
主权项
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