| 发明名称 | 用于改善表面波等离子体源和等离子体空间之间的耦合的方法和系统 | ||
| 摘要 | 本发明描述了一种用于改善表面波等离子体(SWP)源和等离子体空间之间的耦合的方法和系统。表面波等离子体源包括电磁波发射器，例如具有谐振片的缝隙天线，其中在谐振片和等离子体之间的等离子体表面处，利用扰模器来改善到等离子体的耦合。 | ||
| 申请公布号 | CN101180418A | 申请公布日期 | 2008.05.14 |
| 申请号 | CN200580031980.0 | 申请日期 | 2005.08.10 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 陈立;田才忠;松本直树 |
| 分类号 | C23C16/00(2006.01);C23F1/00(2006.01);H01L21/306(2006.01) | 主分类号 | C23C16/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 李剑 |
| 主权项 | 1.一种表面波等离子体(SWP)源，包括：电磁(EM)波发射器，所述电磁波发射器被配置为通过在与等离子体相邻的所述EM波发射器的等离子体表面上生成表面波来将EM能量以期望的EM波模式耦合到所述等离子体；功率耦合系统，所述功率耦合系统耦合到所述EM波发射器，并且被配置为将所述EM能量提供到所述EM波发射器以形成所述等离子体；以及扰模器，所述扰模器耦合到所述EM波发射器的所述等离子体表面，并且被配置为减少所述期望的EM波模式和另一种EM波模式之间的模式跳变。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||