| 发明名称 | 静电吸盘 | ||
| 摘要 | 本发明提供耐等离子体性和被吸附物的冷却性能优异的静电吸盘。静电吸盘的基本的构成是，在金属板(21)表面上藉由喷镀形成有绝缘体膜(22)，在该绝缘体膜(22)上经由绝缘性粘接剂层(23)接合有电介体基板(24)，该电介体基板(24)的表面作为半导体晶片等的被吸附物的盛放面，而在下表面形成有电极(25，25)。 | ||
| 申请公布号 | CN101180721A | 申请公布日期 | 2008.05.14 |
| 申请号 | CN200680017894.9 | 申请日期 | 2006.05.23 |
| 申请人 | TOTO株式会社 | 发明人 | 板仓郁夫;永室正一郎 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01);B23Q3/15(2006.01);H02N13/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/683(2006.01) |
| 代理机构 | 上海市华诚律师事务所 | 代理人 | 徐申民;董红曼 |
| 主权项 | 1.一种静电吸盘，其特征是，在表面通过喷镀形成有绝缘体膜的金属板和在表面形成有电极的电介体基板，以使所述绝缘体膜与所述电极相对方式，经由绝缘性粘接剂接合。 | ||
| 地址 | 日本国福冈县 | ||