发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 EP1361614(A4) 申请公布日期 2008.05.14
申请号 EP20020711222 申请日期 2002.01.24
申请人 NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCEAND TECHNOLOGY;JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY CORPORATION;SANYO ELECTRIC CO., LTD. 发明人 FUKUDA, KENJI;ARAI, KAZUO;SENZAKI, JUNJI;HARADA, SHINSUKE;KOSUGI, RYOJI;ADACHI, K.;SUZUKI, SEIJI
分类号 H01L21/28;H01L21/04;H01L21/316;H01L29/24;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/336 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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