| 发明名称 | 动态老化系统和装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种具有一射频信号发生器的老化装置。一个实施例包括：一印刷电路板，其用于承载复数个准备进行一老化过程的半导体设备；和一射频信号发生器，其安装在所述印刷电路板上，以在所述复数个半导体设备的所述老化过程期间将复数个射频信号分别提供给所述复数个半导体设备。 | ||
| 申请公布号 | CN101165499A | 申请公布日期 | 2008.04.23 |
| 申请号 | CN200710079609.2 | 申请日期 | 2007.02.27 |
| 申请人 | 澜起科技（上海）有限公司 | 发明人 | 汪东明;周廷兴;文俊 |
| 分类号 | G01R31/00(2006.01);G01R31/28(2006.01);G01R31/26(2006.01);H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | G01R31/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 孙皓晨 |
| 主权项 | 1.一种装置，其包含：一印刷电路板，其用于承载复数个准备进行老化的半导体设备；和一射频信号发生器，其安装在所述印刷电路板上，在所述复数个半导体设备的老化期间，所述射频信号发生器将复数个射频信号分别提供给所述复数个半导体设备。 | ||
| 地址 | 200233上海市桂平路680号创业大厦406室 | ||