磁控管溅射用磁电路装置及其制造方法

摘要

一种磁控管溅射用磁回路装置，具备：内侧永久磁铁列(3)，其由以上表面具有规定极性的磁极的方式连设的多个永久磁铁(30)构成；外侧永久磁铁列(4)，其包围内侧永久磁铁列(3)，并由以上表面具有与内侧永久磁铁列(3)的磁极反极性的磁极的方式连设的多个永久磁铁(40)构成；磁轭板(2)，其装拆自如地保持内侧永久磁铁列(3)及外侧永久磁铁列(4)的永久磁铁(30、40)；和至少逐个覆盖永久磁铁(30、40)的大致截面コ字状的非磁性保护罩构件(31、41)，各保护罩构件(31、41)由覆盖永久磁铁(30、40)的一侧面并且机械固定在磁轭板(2)上的第一侧板部(31a、41a)、覆盖永久磁铁(30、40)的另一侧面的第二侧板部(31b、41b)、一体地连结两侧板部(31a)及(31b)、(41a)及(41b)的上板部(31c、41c)构成，由各保护罩构件(31、41)的两侧板部(31a)及(31b)、(41a)及(41b)牢固地把持永久磁铁(30、40)。

主权项

1.一种磁控管溅射用磁回路装置，其特征在于，具备：内侧永久磁铁列，其由以上表面具有规定极性的磁极的方式连设的多个永久磁铁构成；外侧永久磁铁列，其包围所述内侧永久磁铁列，并由以上表面具有与所述内侧永久磁铁列的磁极反极性的磁极的方式连设的多个永久磁铁构成；磁轭板，其装拆自如地保持所述内侧永久磁铁列及所述外侧永久磁铁列的永久磁铁；和至少逐个覆盖所述永久磁铁的大致截面コ字状的非磁性保护罩构件，各保护罩构件由覆盖所述永久磁铁的一侧面并且机械固定在所述磁轭板上的第一侧板部、覆盖所述永久磁铁的另一侧面的第二侧板部、一体地连结两侧板部的上板部构成，由各保护罩构件的两侧板部牢固地把持所述永久磁铁。