负压式气动微帮浦

摘要

本发明关于一种负压式气动微帮浦，其包含设于一矽晶圆片之一驱动气体喷嘴，驱动气体喷嘴具有一入口与一出口；入口连接一驱动气体导入口；驱动气体喷嘴之两侧分别设置一第一帮浦流体吸入口与一第二帮浦流体吸入口；一第一牵引流道之两端分别连接第一帮浦流体吸入口与驱动气体喷嘴之第一侧；第二牵引流道其两端分别连接第二帮浦流体吸入口与驱动气体喷嘴之第二侧；一渐扩排放流道之第一端与出口相连接并与第一牵引流道及第二牵引流道之第二端相连接并导通。如此可使本发明第一帮浦流体吸入口与第二帮浦流体吸入口汲取欲帮浦之流体。