| 发明名称 |
物品收纳用容器之防振机构 |
| 摘要 |
本发明之物品收纳用容器之防振机构之目的在于抑制振动往架构件之传递，防止支持于架构件的基板之损伤，其在构成上是以各别构件来构成FOUP本体3a和于该FOUP本体3a中所具备的架构件3e，于FOUP本体3a和架构件3e之间介设弹性体3g，架构件3e对于FOUP本体3a被弹性支持。 |
| 申请公布号 |
TW200746345 |
申请公布日期 |
2007.12.16 |
| 申请号 |
TW095139999 |
申请日期 |
2006.10.30 |
| 申请人 |
亚仕帝科技股份有限公司 ASYST SHINKO, INC. |
发明人 |
村田正直 |
| 分类号 |
H01L21/677(2006.01);H01L21/67(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/677(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
赖经臣;宿希成 |
| 主权项 |
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| 地址 |
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