发明名称 | 人工晶体生长用晶体旋转机构 | ||
摘要 | 本发明涉及一种人工晶体生长用晶体旋转机构,特别涉及半导体硅单晶生长和锗单晶生长用的晶体旋转机构;包括担负信号传输的电刷环安装在支撑轴承的上部,定心套安装在旋转轴的上部,这样使得旋转轴的旋出部分较长,旋转平稳性差;另外,定心套安装在旋转轴的上部安装更换十分不便;将卷扬提升机构安装在本发明中空心旋转轴的上端,钢丝绳软轴通过空心旋转轴的中心孔,穿过安装在旋转轴下部的定心套的中心孔提拉生长人工晶体;提高人工晶体生长中旋转运动的稳定性、可靠性,并方便安装和维修,可广泛用于各类人工晶体生长设备中的晶体提拉生长运动。 | ||
申请公布号 | CN101070609A | 申请公布日期 | 2007.11.14 |
申请号 | CN200610040115.9 | 申请日期 | 2006.05.08 |
申请人 | 江苏华盛精细陶瓷科技有限公司 | 发明人 | 冯金生;李留臣 |
分类号 | C30B15/30(2006.01) | 主分类号 | C30B15/30(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | 1、一种人工晶体生长用晶体旋转机构,由旋转轴等组成,其特征在于旋转轴(5)通过轴承座(12)、压盖(11)、旋紧螺母(6)、轴承(7)、轴承(14)和固定螺母(15)安装在基座(1)上,起信号传输作用的电刷环(4)通过紧定螺钉(13)安装固定在旋转轴(5)上,并在两个支撑轴承之间,楔形带轮(9)通过键(10)带动旋转轴(5)旋转,旋转轴(5)上设置有走线槽(8),电刷环(4)的输出线穿过走线槽(8)引到旋转轴(5)的上部,以便控制元器件。基座(1)上有一个开孔(3),以方便安装与出线。安装在基座(1)上的拨叉(2)与电刷环(4)的定环(外环)接触,以便使电刷环的输入线相对固定。由于本发明带动旋转的是一根钢丝绳软轴,因此,在旋转轴(5)的下端安装一个定心套(16),确保钢丝绳软轴的对中性,提高旋转运动的平稳性。 | ||
地址 | 213223江苏省金坛市汤庄镇华盛路 |