加速度传感器

摘要

本发明公开了一种即使受到一个在通常处理时可能产生的冲击，弹性支承臂也不断裂的结构的加速度传感器。这种加速度传感器具有一个块状部分、一个固定在块状部分上的块状部分顶片、一个包围块状部分的厚的矩形支承框架、一个固定在框架上的框架顶片、和四个将块状部分悬挂在框架中心的并桥接块状部分顶片和框架顶片的弹性支承臂。在块状部分侧表面和框架内表面上在支承臂的正下方形成横向槽。由于这些槽，块状部分顶片和框架顶片具有它们的粘结在块状部分/框架上的部分和它们的向支承臂凸出的部分。在粘结部分和凸出部分之间的边界处的横截面大于把凸出部分连接到支承臂上的横截面，以及，块状部分顶片、框架顶片和弹性支承臂具有相同的厚度。因为由从外面施加的冲击在块状部分/框架上引起的应变不是直接传递到支承臂上，并且在具有大于支承臂的横截面积的凸出部分被释放，因此防止了弹性支承臂的断裂。

主权项

1.一种加速度传感器，具有一个加速度传感器元件，该加速度传感器元件包括：一个位于加速度传感器元件中心的块状部分；一个固定在块状部分上端的块状部分顶片；一个离块状部分一定距离并包围块状部分的厚的矩形支承框架；一个固定在框架上端的框架顶片；四个桥接块状部分顶片和框架顶片的、并把块状部分悬挂在框架中心的弹性支承臂；以及在弹性支承臂上形成的各个应变片；块状部分顶片具有粘结在块状部分上端上的部分和从块状部分顶片的粘结部分向着每个弹性支承臂凸出的部分，使块状部分顶片在粘结部分和凸出部分之间的边界处的横截面大于把凸出部分连接到弹性支承臂的横截面；以及框架顶片具有粘结在框架上端上的部分和从框架顶片的粘结部分向着每个弹性支承臂凸出的部分，使框架顶片在粘结部分和凸出部分之间的边界处的横截面大于把凸出部分连接到弹性支承臂的横截面，以及块状部分顶片、框架顶片和弹性支承臂具有相同的厚度。