| 发明名称 | 用于加工设备的工件固定器和使用该固定器的加工设备 | ||
| 摘要 | 提供一种不昂贵的具有高的可靠性的工件固定器和一种设有工件固定器的加工设备，其能防止由空气中的氧所引起的损坏。固定器包括：陶瓷体，其具有电极和加热器电路并能够固定工件；管形件，其具有连接至陶瓷体的末端部分；密封件，其放在管形件的内部并将管形件的内部空间分成两个区域：在第一末端部分的区域(“密封部分”)和在相对侧的区域(“相对区域”)；和电源导电元件，其从相对区域侧，穿过密封件至密封区域侧，并与电极和加热器电路电气连接。 | ||
| 申请公布号 | CN100346462C | 申请公布日期 | 2007.10.31 |
| 申请号 | CN03107447.2 | 申请日期 | 2003.03.20 |
| 申请人 | 住友电气工业株式会社 | 发明人 | 夏原益宏;仲田博彦;柊平启 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01);H01L21/3065(2006.01);H01L21/205(2006.01);C23C16/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/68(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 程金山 |
| 主权项 | 1.用于固定工件的工件固定器，包括：陶瓷体，其具有电路并固定工件；管形件，其具有固定至陶瓷体的后表面的末端部分即“第一末端部分”；密封件，其放置在管形件的内部并粘接至其上，并把管形件内部空间分成两个区域：在第一末端部分侧的区域即“密封区域”和在相对侧区域即“相对区域”；和电源导电元件，其从相对侧穿过密封件至密封区域侧，并与陶瓷体的电路电气连接。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||