发明名称 |
集成电路结构及其制造方法 |
摘要 |
一种集成电路结构,此结构包括基底、接触窗与肖特基接触金属层。基底上已形成有重掺杂区与轻掺杂区。接触窗设置于重掺杂区上,而肖特基接触金属层则设置于轻掺杂区上,与基底构成肖特基二极管。其中,接触窗的材料与肖特基接触金属层的材料不同。 |
申请公布号 |
CN101060119A |
申请公布日期 |
2007.10.24 |
申请号 |
CN200610075487.5 |
申请日期 |
2006.04.20 |
申请人 |
联华电子股份有限公司 |
发明人 |
郑朝华 |
分类号 |
H01L27/02(2006.01);H01L23/532(2006.01);H01L29/872(2006.01);H01L21/82(2006.01);H01L21/329(2006.01);H01L21/768(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/02(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
陶凤波;侯宇 |
主权项 |
1.一种集成电路结构,包括:基底,该基底上已形成有重掺杂区与轻掺杂区;接触窗,设置于该重掺杂区上;以及肖特基接触金属层,设置于该轻掺杂区上,与该基底构成肖特基二极管,其中,该接触窗的材料与该肖特基接触金属层的材料不同。 |
地址 |
中国台湾新竹科学工业园区 |