发明名称 集成电路结构及其制造方法
摘要 一种集成电路结构,此结构包括基底、接触窗与肖特基接触金属层。基底上已形成有重掺杂区与轻掺杂区。接触窗设置于重掺杂区上,而肖特基接触金属层则设置于轻掺杂区上,与基底构成肖特基二极管。其中,接触窗的材料与肖特基接触金属层的材料不同。
申请公布号 CN101060119A 申请公布日期 2007.10.24
申请号 CN200610075487.5 申请日期 2006.04.20
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 郑朝华
分类号 H01L27/02(2006.01);H01L23/532(2006.01);H01L29/872(2006.01);H01L21/82(2006.01);H01L21/329(2006.01);H01L21/768(2006.01) 主分类号 H01L27/02(2006.01)
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波;侯宇
主权项 1.一种集成电路结构,包括:基底,该基底上已形成有重掺杂区与轻掺杂区;接触窗,设置于该重掺杂区上;以及肖特基接触金属层,设置于该轻掺杂区上,与该基底构成肖特基二极管,其中,该接触窗的材料与该肖特基接触金属层的材料不同。
地址 中国台湾新竹科学工业园区