发明名称 氮化物半导体发光器件及其制造方法
摘要 在此公开了一种氮化物半导体发光器件。该氮化物半导体发光器件包括衬底上的n-型氮化物半导体层,在n-型氮化物层上形成的有源层,以致部分n-型氮化物半导体层被露出。在有源层上形成的p-型氮化物半导体层,p-型氮化物半导体层上的高浓度掺杂剂区,高浓度掺杂剂区上的反掺杂区,在n-型氮化物半导体层露出的部分上形成的n-侧电极,以及在反掺杂区上形成的p-侧电极。通过离子注入工艺和热处理为p-侧电极提供令人满意的欧姆接触。
申请公布号 CN100340007C 申请公布日期 2007.09.26
申请号 CN200410038588.6 申请日期 2004.05.08
申请人 三星电机株式会社 发明人 崔锡范;吴邦元;崔熙石
分类号 H01L33/00(2006.01) 主分类号 H01L33/00(2006.01)
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 林宇清;谢丽娜
主权项 1.一种氮化物半导体发光器件,包括:在衬底上形成的n-型氮化物半导体层;在n-型氮化物半导体层上形成的有源层,以致部分n-型氮化物半导体层被露出;在有源层上形成的p-型氮化物半导体层;通过在p-型氮化物半导体层上掺杂高浓度的p-型掺杂剂形成的高浓度掺杂剂区;通过在高浓度掺杂剂区上掺杂高浓度的n-型掺杂剂形成的反掺杂区;在n-型氮化物半导体层露出的部分上形成的n-侧电极;以及在反掺杂区上形成的p-侧电极。
地址 韩国京畿道