| 发明名称 |
AQUEOUS SURFACTANT SOLUTION FOR DEVELOPING COATING FILM LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1308787(A4) |
申请公布日期 |
2007.09.12 |
| 申请号 |
EP20010951926 |
申请日期 |
2001.07.19 |
| 申请人 |
AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. |
发明人 |
KANDA, TAKASHI |
| 分类号 |
G03F7/40;G03F7/32;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/32;C11D3/16 |
主分类号 |
G03F7/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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