| 摘要 |
本发明之光束照射量演算方法中，首先，指定自试料之表面区域所划分出的行列状之各个尺寸不同的第一、第二及第三复数个区域。第三复数个区域小于第一及第二复数个区域。其次，计算第一复数个区域中的带电粒子束之模糊效应修正照射量。又，计算修正第二复数个区域中因装载效应而引起的图案线宽之偏移的装载效应修正尺寸值。使用该修正尺寸值，制作第二复数个区域之各个区域中光束之基准照射量图及邻近效应修正系数图。其次，使用该等图，计算第三复数个区域中的光束之邻近效应修正照射量。根据如此所获得之模糊效应邻近效应修正照射量，决定试料表面上各位置上的实际光束照射量。 |
