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发明名称
Automatische Lagen-Korrektur für thermische Sensoren von Massenstrom-Messeinrichtungen und Steuerungen
摘要
申请公布号
DE112005001931(T5)
申请公布日期
2007.08.02
申请号
DE20051101931
申请日期
2005.09.15
申请人
MKS INSTRUMENTS INC.
发明人
L'BASSI, MICHAEL;QUARATIELLO, MARK J.;BOULEY, RONALD H.
分类号
G01F1/68
主分类号
G01F1/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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