| 摘要 |
本发明能正确且可靠地预测排气处理装置中的除害剂的失效时间。又，本发明亦可根据该预测失效时间而自动更换除害剂，从而节省了更换时所须的劳力与时间。本发明的排气处理装置包括：乾式蚀刻装置等气体使用设备1；气体供给装置2，将C3F8等气体供给至该气体使用设备1；除害装置4，接收来自气体使用设备1的排气而进行除害；除害剂填充排出装置5；以及控制装置6。将自气体供给装置2送至气体使用设备1的气体的种类、流量、供给时间的资料送至控制装置6。控制装置6，根据该等资料来预测除害装置4的除害筒41的失效时间，当达到失效时间时，进行切换除害筒41的指示，从而对除害剂填充排出装置5进行除害剂的排出、填充指示。 |
