发明名称 Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas mit Entladung entlang einer magnetisch-neutralen Linie
摘要
申请公布号 DE69737311(T2) 申请公布日期 2007.06.28
申请号 DE19976037311T 申请日期 1997.02.06
申请人 ULVAC INC. 发明人 UCHIDA, TAIJIRO
分类号 H05H1/46;H01J37/32 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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