发明名称 |
纳米间隙电极的制备方法 |
摘要 |
纳米间隙电极的制备方法是一种基于分子组装技术的制备纳米间隙电极的选择性化学沉积方法,其制备的方法为:首先,用传统光刻工艺制备出微米或亚微米间隙的原型电极;在上述电极表面采用分子组装技术获得双功能分子“X-R-Y”的单分子膜;再利用该单分子膜朝向外表面的活性端基Y化学吸附化学镀引发剂;继而在电极表面引发金属的选择性化学沉积,通过金属层在电极表面的自催化外延生长使原型电极的间隙从微米或亚微米级缩小到纳米级。方法操作简单、制造成本低廉,无须昂贵的设备投入就能非常简便地达到电极的纳米加工;是一种简便易行、成本低廉、易于推广的纳米间隙电极的制备方法。 |
申请公布号 |
CN1315157C |
申请公布日期 |
2007.05.09 |
申请号 |
CN200410014078.5 |
申请日期 |
2004.02.17 |
申请人 |
东南大学 |
发明人 |
徐丽娜;顾宁;黄岚;王孟;周凯常 |
分类号 |
H01L21/28(2006.01);H01L21/44(2006.01);B82B3/00(2006.01);C23C18/08(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/28(2006.01) |
代理机构 |
南京经纬专利商标代理有限公司 |
代理人 |
沈廉 |
主权项 |
1、一种纳米间隙电极的制备方法,其特征在于制备的方法为:首先,用传统光刻工艺制备出微米或亚微米间隙的原型电极;在上述电极表面采用分子组装技术获得双功能分子“X-R-Y”的单分子膜;再利用该单分子膜朝向外表面的活性端基Y化学吸附化学镀引发剂;继而在电极表面引发金属的选择性化学沉积,通过金属层在电极表面的自催化外延生长使原型电极的间隙从微米或亚微米级缩小到纳米级;在双功能分子“X-R-Y”中,可与原型电极金属材料自发进行分子组装的官能团“X”,对于金、银电极为巯基或二硫基;在双功能分子“X-R-Y”中,可与化学镀引发剂键合的活性基团“Y”为氨基、或巯基、或氰基、或磷酰基、或羧基;所述的双功能分子“X-R-Y”中,R为碳链、或芳环。 |
地址 |
210096江苏省南京市四牌楼2号 |