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发明名称
使用表面活化剂之含金属膜之原子层沈积
摘要
本发明提供于表面上形成含金属膜之原子层沈积法。
申请公布号
TW200712227
申请公布日期
2007.04.01
申请号
TW095129059
申请日期
2006.08.08
申请人
杜邦股份有限公司
发明人
杰弗瑞 史考特 汤普森
分类号
C23C14/14(2006.01);C23C14/12(2006.01)
主分类号
C23C14/14(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
美国
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