具马达驱动式旋转阴极之真空涂覆机

摘要

于真空涂覆机中，该驱动器单元系藉着一弹性中介板顺应式地安装至该室外壳，使得该驱动器单元能够顺着一藉由该旋转阴极所强加之摇摆运动，使该旋转阴极之自由端的支撑轴承能够为一固定式设计。