发明名称 真空泵之绝热构造
摘要 本发明揭示一种真空泵之绝热构造,其目的在于提供一种关于旋转式真空泵中兼具真空排气室高温保持及轴承部冷却之两种功能的隔热构造,特别以如在半导体处理中用以进行反应气体排气的真空泵为对象,提供一种能够在使排气室保持在高温的情况下,防止轴承及轴垫圈遭到高温破坏的构造。本发明之真空泵具有:真空排气室;导入装置,其用以将处理气体导入该真空排气室;排气装置,其用以将上述处理气体排出至真空排气室外;及用以将上述真空排气室与外部区隔开来的外壳,且该外壳内之转子系经由轴承固定且能够自由转动,其特征为上述真空泵中的上述真空排气室与上述轴承间设置绝热装置。此外,于以热传导率高于上述外壳材质的金属做为热传导装置而安装于上述外壳。
申请公布号 TWI277696 申请公布日期 2007.04.01
申请号 TW092113601 申请日期 2003.05.20
申请人 帝人制机股份有限公司 发明人 舛重荣治;藤井理之
分类号 F04C29/04(2006.01);F04C25/02(2006.01) 主分类号 F04C29/04(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 1.一种旋转式真空泵,其真空泵具有:真空排气室, 该真空排气室内包含;导入装置,其用以将处理气 体导入该真空排气室;排气装置,其用以将上述处 理气体排出至上述真空排气室外;及用以将上述真 空排气室与外部区隔开来的外壳,且该外壳内之转 子系经由轴承固定且能够自由转动;其特征为上述 真空排气室与上述轴承间设置绝热装置。 2.如申请专利范围第1项之旋转式真空泵,其中上述 绝热装置系采用热传导率比上述外壳所用之材料 低的材料。 3.如申请专利范围第1项之旋转式真空泵,其中上述 绝热装置系采用热传导性低于上述外壳所用之材 料且耐腐蚀性高的树脂。 4.如申请专利范围第1至3项中任一项之旋转式真空 泵,其中上述绝热装置系采用中空绝热构件。 5.如申请专利范围第1项之旋转式真空泵,其中上述 外壳包含设置有上述轴承之轴承箱及上述转子周 围的主套筒,且该轴承箱与该主套筒间设有上述绝 热装置的支撑构件。 6.如申请专利范围第1项之旋转式真空泵,其中上述 绝热装置与上述真空排气室间,设有热传导率高于 上述绝热装置所用之材料的热传导装置。 7.如申请专利范围第1项之旋转式真空泵,其中上述 外壳外围的大气侧设有第二绝热装置。 8.如申请专利范围第1项之旋转式真空泵,其中上述 外壳或/及外壳外围设有热传导装置。 9.如申请专利范围第8项之旋转式真空泵,其中上述 热传导装置为热导管。 10.如申请专利范围第8项之旋转式真空泵,其中上 述热传导装置系采用热传导率比外壳的材料为佳 之金属。 11.一种旋转式真空泵,其真空泵具有真空排气室, 该真空排气室内包含:导入装置,其用以将处理气 体导入该真空排气室;排气装置,其用以将上述处 理气体排出至上述真空排气室外;及用以将上述真 空排气室与外部区隔开来的外壳;且该外壳内之转 子系经由轴承固定且能够自由转动,其特征为上述 外壳或/及外壳外围设置热传导装置。 12.如申请专利范围第11项之旋转式真空泵,其中上 述热传导装置系采用热传导率比外壳的材料为佳 之金属。 图式简单说明: 图1为本发明之第一实施例之图。 图2为本发明之第二实施例之图。 图3为本发明之第二实施例之A-A剖面图。 图4为本发明之第三实施例之图。 图5(a)及图5(b)为本发明之第四实施例之图。 图6为本发明之第五实施例之图。 图7为先前技术之真空泵之图。
地址 日本