主权项 |
1.一种旋转式真空泵,其真空泵具有:真空排气室, 该真空排气室内包含;导入装置,其用以将处理气 体导入该真空排气室;排气装置,其用以将上述处 理气体排出至上述真空排气室外;及用以将上述真 空排气室与外部区隔开来的外壳,且该外壳内之转 子系经由轴承固定且能够自由转动;其特征为上述 真空排气室与上述轴承间设置绝热装置。 2.如申请专利范围第1项之旋转式真空泵,其中上述 绝热装置系采用热传导率比上述外壳所用之材料 低的材料。 3.如申请专利范围第1项之旋转式真空泵,其中上述 绝热装置系采用热传导性低于上述外壳所用之材 料且耐腐蚀性高的树脂。 4.如申请专利范围第1至3项中任一项之旋转式真空 泵,其中上述绝热装置系采用中空绝热构件。 5.如申请专利范围第1项之旋转式真空泵,其中上述 外壳包含设置有上述轴承之轴承箱及上述转子周 围的主套筒,且该轴承箱与该主套筒间设有上述绝 热装置的支撑构件。 6.如申请专利范围第1项之旋转式真空泵,其中上述 绝热装置与上述真空排气室间,设有热传导率高于 上述绝热装置所用之材料的热传导装置。 7.如申请专利范围第1项之旋转式真空泵,其中上述 外壳外围的大气侧设有第二绝热装置。 8.如申请专利范围第1项之旋转式真空泵,其中上述 外壳或/及外壳外围设有热传导装置。 9.如申请专利范围第8项之旋转式真空泵,其中上述 热传导装置为热导管。 10.如申请专利范围第8项之旋转式真空泵,其中上 述热传导装置系采用热传导率比外壳的材料为佳 之金属。 11.一种旋转式真空泵,其真空泵具有真空排气室, 该真空排气室内包含:导入装置,其用以将处理气 体导入该真空排气室;排气装置,其用以将上述处 理气体排出至上述真空排气室外;及用以将上述真 空排气室与外部区隔开来的外壳;且该外壳内之转 子系经由轴承固定且能够自由转动,其特征为上述 外壳或/及外壳外围设置热传导装置。 12.如申请专利范围第11项之旋转式真空泵,其中上 述热传导装置系采用热传导率比外壳的材料为佳 之金属。 图式简单说明: 图1为本发明之第一实施例之图。 图2为本发明之第二实施例之图。 图3为本发明之第二实施例之A-A剖面图。 图4为本发明之第三实施例之图。 图5(a)及图5(b)为本发明之第四实施例之图。 图6为本发明之第五实施例之图。 图7为先前技术之真空泵之图。 |