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发明名称
具有改良接合及腐蚀性质之铜接合丝
摘要
本发明系关于一种铜接合或超细丝,其表面系经金增强,特定言之˙以等于最大50 nm覆皮之量,或˙根据球形/楔形处理系可接合的,˙外观呈铜色,˙其电弧烧球(FAB)具有低于95 HV0.002之硬度。为制造该相应接合或超细丝,将铜丝以金或铜/金合金包覆或将金加工至该铜丝表面中。将该等丝接合至半导体矽晶片上。
申请公布号
TW200705581
申请公布日期
2007.02.01
申请号
TW095107821
申请日期
2006.03.08
申请人
威西赫罗斯公司
发明人
亚伯齐特 比斯奇弗;鲁兹 史奇瑞普勒;汉兹 佛德瑞;法兰克 库格
分类号
H01L21/60(2006.01)
主分类号
H01L21/60(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
德国
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