发明名称 具有改良接合及腐蚀性质之铜接合丝
摘要 本发明系关于一种铜接合或超细丝,其表面系经金增强,特定言之˙以等于最大50 nm覆皮之量,或˙根据球形/楔形处理系可接合的,˙外观呈铜色,˙其电弧烧球(FAB)具有低于95 HV0.002之硬度。为制造该相应接合或超细丝,将铜丝以金或铜/金合金包覆或将金加工至该铜丝表面中。将该等丝接合至半导体矽晶片上。
申请公布号 TW200705581 申请公布日期 2007.02.01
申请号 TW095107821 申请日期 2006.03.08
申请人 威西赫罗斯公司 发明人 亚伯齐特 比斯奇弗;鲁兹 史奇瑞普勒;汉兹 佛德瑞;法兰克 库格
分类号 H01L21/60(2006.01) 主分类号 H01L21/60(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 德国