| 主权项 |
1.一种测试探针对准设备,其系用于使一组测试探 针对准在一基板上的接触区域,该基板系被支承在 一个夹盘上而邻近于测试探针对准设备,被驱动用 以移动于一平面中,且被限制以防止旋转运动,该 测试探针对准设备系包含: 一个可旋转式平台,其系具有一个旋转轴线而为实 质上垂直于该夹盘之移动的平面,该可旋转式平台 系从该夹盘处脱离以使该夹盘能够在该平面中移 动而不会使该可旋转式平台随之移动; 一个台架,其系被支承在该可旋转式平台上以与其 一起旋转,该台架系适合以支承该组测试探针;以 及 一个平移式平台,其系以一种可操作方式与该台架 相衔接,并且被驱动以使该台架相对于该旋转式平 台而沿着该可旋转式平台之该旋转轴线进行线性 平移,以从而使该测试探针移动进入与该接触区域 之衔接状态之中, 该可旋转式平台的旋转系会致使该组测试探针绕 着旋转轴线进行旋转,用以在该测试探针移动进入 与该接触区域相衔接之前使该测试探针与接触区 域相对准。 2.根据申请专利范围第1项所述之测试探针对准设 备,其中,该夹盘系可沿着该平面中的两个正交轴 线而移动,并且其中,该基板系包含被配置成一预 定阵列图案之电路阵列,每一电路系包含一组接触 区域,该阵列图案系相对于正交轴线而在角度上未 对准,并且更包含: 一个电脑可读取式资料储存媒介,其系适合于储存 一个相应于阵列图案之编索方案,该编索方案系包 含代表一或多对电路阵列之诸组接触区域间之空 间偏移的一组移动向量; 一个位置感应器,其系用于量测阵列图案之角度未 对准;以及 一个运动控制器,其系与该资料储存媒介和该感应 器相通讯,该运动控制器系包含一个电脑处理器, 其系依据该位置感应器所量测到阵列图案之角度 未对准而针对移动向量施行座标转换。 3.根据申请专利范围第2项所述之测试探针对准设 备,其中,该位置感应器系包含一个相机。 4.根据申请专利范围第2项所述之测试探针对准设 备,其中,该电脑可读取式资料储存媒介系包含一 记忆体。 5.根据申请专利范围第1项所述之测试探针对准设 备,其更包含一个工件定位用平台,其系支承有该 夹盘并被驱动用于在该平面中移动。 6.根据申请专利范围第1项所述之测试棵针对准设 备,其中,该可旋转式平台系包含一个环形轴承。 7.根据申请专利范围第1项所述之测试探针对准设 备,其更包含一个同带机构,其系以一种可操作方 式与该可旋转式平台相衔接,用以经由一种可旋转 方式驱动该可旋转式平台。 8.根据申请专利范围第1项所述之测试探针对准设 备,其中,该平移式平台系被支承在该可旋转式平 台之上以与其一起移动。 9.根据申请专利范围第1项所述之测试探针对准设 备,其更包含一个消隙弹簧,其系以一种可操作方 式与该台架及该可旋转式平台互连,用以使该台架 相对于该可旋转式平台而偏移。 10.一种探针对准设备,其系用于使一组探针与一基 板上的接触区域相对准,该基板系被支承在一个与 该探针对准设备分离之独立移动式X-Y平台上,被驱 动用以移动于一平面中,且被限制以防止旋转运动 ,该探针对准设备系包含: 一个平台,其系具有一个旋转轴线而为实质上垂 直于该X-Y平台之移动的平面,该平台系从该X-Y平 台处脱离,如此该X-Y平台之移动不会招致该平台 之移动,并且该平台之移动不会招致该X-Y平台之 移动; 一个台架,其系被耦接至该平台以与其一起旋转 ,该台架系适合以支承该组探针;以及 一个Z平台,其系以一种可操作方式与该台架相衔 接,用以驱动该台架线性地相对于该平台而沿着 该平台之该旋转轴线,以从而使该探针移动进入 与该接触区域之衔接状态之中, 该平台的旋转系会致使该组探针绕着旋转轴线 进行旋转,用以在该探针移动进入与该接触区域相 衔接之前使该探针与接触区域相对准。 11.根据申请专利范围第10项所述之探针对准设备, 其中,该X-Y平台系可移动沿着在该平面中的两个正 交轴线,并且其中,该基板系包含被配置成一预定 阵列图案之电路阵列,每一电路系包含一组接触区 域,该阵列图案系相对于正交轴线而在角度上未对 准,并且更包含: 一个电脑可读取式资料储存媒介,其系适合于储存 一个相应于阵列图案之编索方案,该编索方案系包 含代表一或多对电路阵列之诸组接触区域间之空 间偏移的一组移动向量; 一个位置感应器,其系用于量测阵列图案之角度未 对准; 一个电脑处理器,其系与该资料储存媒介和该感应 器相通讯,该电脑处理器系可操作而依据该位置感 应器所量测到阵列图案之角度未对准而针对移动 向量施行座标转换;以及 一个运动控制器,其系与该电脑处理器相通讯,用 以依据所转换的移动向量来控制X-Y平台的移动。 12.根据申请专利范围第11项所述之探针对准设备, 其中,该位置感应器系包含一个相机。 13.根据申请专利范围第10项所述之探针对准设备, 其更包含一个工件定位用平台,其系支承有一夹盘 并被驱动用于在该平面中移动而独立于平台之 旋转移动。 14.根据申请专利范围第10项所述之探针对准设备, 其中,该平台系包含一个环形轴承。 15.根据申请专利范围第10项所述之探针对准设备, 其更包含一个同带机构,其系以一种可操作方式与 该平台相衔接,用以使该平台旋转。 16.根据申请专利范围第10项所述之探针对准设备, 其中,该Z平台系被支承在该平台之上以与其一 起移动。 17.根据申请专利范围第10项所述之探针对准设备, 其更包含一个用以使该台架相对于该平台而偏 移的机构,用以降低在Z平台中之间隙效应。 18.一种使用于测试电路构件的对准设备,其系包含 : 一个工件定位用平台,其系包含一个用于将基板支 承于其上之夹盘,该工件定位用平台系可调整用于 移动在一个平面中,并且被限制以防止该夹盘的旋 转移动; 一个可旋转式平台,其系从该工件定位用平台处分 离,并具有一个旋转轴线而为实质上垂直于该工件 定位用平台之移动的平面,每一个可旋转式平台以 及该工件定位用平台系可独立调整而不会招致另 一之移动; 一个工具,其系被支承在该可旋转式平台上以与其 一起旋转;以及 一个平移式平台,其系以一种可操作方式与该工具 相衔接,并且被驱动以使该工具相对于该旋转式平 台而沿着该可旋转式平台之该旋转轴线进行线性 平移, 该可旋转式平台的旋转系会致使该工具绕着旋转 轴线进行旋转,用以使该工具与该基板相对准。 19.根据申请专利范围第18项所述之对准设备,其中, 该夹盘系可沿着该平面中的两个正交轴线而移动, 并且其中,该基板系包含被配置成一预定阵列图案 之电路阵列,该阵列图案系相对于正交轴线而在角 度上未对准,并且更包含: 一个电脑可读取式资料储存媒介,其系适合于储存 一个相应于阵列图案之编索方案,该编索方案系包 含代表一或多对电路阵列之诸组接触区域间之空 间偏移的一组移动向量; 一个位置感应器,其系用于量测阵列图案之角度未 对准;以及 一个电脑处理器,其系与该资料储存媒介和该位置 感应器相通讯,该电脑处理器系可操作而依据该位 置感应器所量测到阵列图案之角度未对准而针对 移动向量施行座标转换。 20.根据申请专利范围第18项所述之对准设备,其中, 该可旋转式平台系包含一个环形轴承。 21.根据申请专利范围第18项所述之对准设备,其中, 该平移式平台系被支承在该可旋转式平台上以与 其一起移动。 22.根据申请专利范围第19项所述之对准设备,其进 一步包含一运动控制器,其可用于根据改变的移动 向量来控制该工件定位平台的移动。 图式简单说明: 第一图系为一习知测试针探系统之示意前视平面 图; 第二图系为一测试针探系统的示意前视平面图,此 测试针探系统系包含简化第一实施例之一测试探 针对准设备; 第三图系为一个俯视立体图,其系显示出一个根据 第二实施例之测试探针对准设备,其中对准设备之 Z驱动带体系为了说明清楚而被加以省略; 第四图系为第三图之测试探针对准设备之仰视立 体图 第五图系为测试探针对准设备之第三实施例的俯 视右前侧立体图;其中探针对准设备之一探针卡保 持件系被加以省略; 第六图系为第五图之测试探针对准设备之俯视左 侧立体图; 第七图系为第五图之测试探针对准设备之俯视平 面图; 第八图系为第五图之测试探针对准设备之右侧视 平面图; 第九图系为第五图之测试探针对准设备之前侧视 平面图; 第十图系为第五图之测试探针对准设备之分解图, 其中对准设备之左前方Z螺丝系被省略以显示出对 准设备之平台支柱的细节;以及 第十一图系为第五图之测试探针对准设备之放大 局部俯视平面图,其系显示出一平台驱动机构的 细节。 |
