真空闸阀

摘要

本发明系有关于一种真空闸阀，尤指一种可气密隔绝或导通两真空腔之真空闸阀，系利用连动杠杆机构将纵向之线性动力转换为开关阀门所需之纵向力与横向力，以提供足以抗衡两真空腔间压力差之横向力，同时避免阀门的气密环(O–ring)于开关操作时磨损，并使已关闭之阀门于无动力时亦能确保气密隔绝两真空腔的状态，更且本发明之一种真空闸阀使用廉价的挠性气密管，可降低真空引入装置成本。