弹性体成型品

摘要

本发明提供在大于等于275℃的高温下耐用并且耐高密度等离子体的含氟弹性体成型品，其是利用耐热性交联剂将交联性含氟弹性体组合物交联后得到的交联的含氟弹性体成型品，所述交联性含氟弹性体组合物是将一次平均粒径小于等于5μm的α型氧化铝或氮化铝等无机填料，混合在具有CN基和COOH基等全氟弹性体等的含氟弹性体成分中形成的。

主权项

1、含氟弹性体成型品，其是通过仅使用非氟类交联剂的过氧化物交联体系以外的耐热交联体系将交联性含氟弹性体组合物交联后得到的交联的含氟弹性体成型品，所述交联性含氟弹性体组合物相对于100重量份的含氟弹性体成分含有0.5～100重量份的一次平均粒径小于等于5μm的无机填料，其中，无机填料是氮化铝填料或氧化铝填料，所述氧化铝填料通过X射线晶体结构衍射法测定的衍射图中出现的依强度从大到小的顺序选定的6个峰都是来自于氧化铝α型晶体结构的峰，对于所述含氟弹性体成型品，在如下条件1下其压缩永久变形小于等于50％，并且在如下条件2下其受NF3等离子体照射时减少的重量小于等于3％条件1：样品：O-环 AS-568A-214测定条件：依据JIS K6262-1997测定在275℃、70小时后的压缩永久变形条件2：样品：O-环 AS-568A-214测定装置：ICP高密度等离子体装置测定条件：NF3流量：2.704×10-2Pa m3/s压力：1.33PaRF输出：800W照射时间：30分钟频率：13.56MHz。