半导体生产设备之扩充装置

摘要

一种半导体生产设备之扩充装置，其与一半导体生产设备配合，该半导体生产设备包含一SECS连接埠。该扩充装置包含一第一连接埠、至少一第二连接埠以及一控制单元。该第一连接埠用以与该SECS连接埠讯号连接。该第二连接埠用以与一外接装置讯号连接。该控制单元与该第一连接埠及该第二连接埠讯号连接，并利用该SECS连接埠闲置时，传送该外接装置产生之外部讯号至该半导体生产设备。