发明名称 |
光学镀膜装置 |
摘要 |
本发明提供一种光学镀膜装置,包括一镀膜室、一承载架、一旋转马达、一蒸镀源及一挡流板。该承载架设在该镀膜室内,其用于安装多个待镀组件。该旋转马达经一连轴器带动该承载架旋转。该蒸镀源设在该镀膜室底部,与该承载架相对。该挡流板经一支撑柱设在镀膜源与承载架之间,其包括有不同形状的多个遮板,且每一遮板皆可旋转至一特定位置定位。 |
申请公布号 |
CN1847445A |
申请公布日期 |
2006.10.18 |
申请号 |
CN200510034248.0 |
申请日期 |
2005.04.15 |
申请人 |
鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
发明人 |
张庆州 |
分类号 |
C23C14/24(2006.01);C23C14/04(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/24(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
1.一种光学镀膜装置,包括一镀膜室、一承载架、一旋转马达、一镀膜源及一挡流板,该承载架其设在该镀膜室内,用于安装多个待镀组件,该旋转马达经一连轴器带动该承载架旋转,该镀膜源设在该镀膜室的底部并与承载架相对,其特征在于:该挡流板经一支撑柱设在镀膜源与承载架之间,该挡流板包括有不同形状的多个遮板,且每一遮板皆可旋转至一特定位置。 |
地址 |
518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |