曝光设备及装置制造方法

摘要

一种在物体上形成图案的曝光设备，包括：曝光头结构，其中排列有复数个元件曝光单元，该复数个元件曝光单元各包括至少一光源以及在该物体上形成该光源之影像的光学元件；感测器，其侦测物体的表面位置；以及控制器，其基于感测器之侦测结果来控制利用曝光头结构的曝光。该控制器在选择性地操作满足一预定条件之该复数个元件曝光单元其中之一时，于该物体上形成图案。